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SOS (半导体)

2018-08-20 16:33:20     所属分类:半导体器件制造

蓝宝石上的硅英语:silicon on sapphire, SOS)是集成电路制造工艺中的一种异质外延技术,它将一层较薄(通常小于0.6微米)的硅生长在蓝宝石(主要成分为氧化铝)晶圆上。SOS技术是CMOS技术中SOI(Silicon On Insulator, SOI,绝缘体上的硅)的一部分。

参考文献

  • 杨树人,王宗昌,王兢. 半导体材料(第2版). 科学出版社. 2004. ISBN 7-03-012817-6. 

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