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光罩护膜

2018-08-20 16:33:36     所属分类:半导体器件制造

光罩护膜即表示是光罩上的膜或薄膜的意思。黏贴光罩护膜为制造光罩之最后阶段工程。光罩护膜用来提供阻隔外界污染的隔膜,防止微粒子或挥发性气体污染光罩表面。

主要材质为

  • 硝化纤维素;
  • 纤维酯;
  • 醋酸纤维素丁酸盐;
  • 铁氟龙;
  • Cytop。

各光罩护膜材质的适用范围

材质 膜厚 光穿透率 适用光波长

              (μm)                          (nm) 

硝化纤维素 2.85 97% (avg) 350-450

            2.85	99.5%(min)	380-420
            1.40	99% (min) 	365,436

纤维酯 1.40 99% (min) 365,436

铁氟龙AF 0.81 99% (min) 248,365,436 0.54 99% (min) 193,248,365

参照

  • 光罩

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