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蚀刻

2018-08-20 16:33:35     所属分类:半导体器件制造
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蚀刻是指以酸性、腐蚀性或有研磨效用的物质在玻璃表面上创作的技术。传统上,这段过程是在玻璃吹制好或铸好之后进行的。

1920年代,人们发明一种新的模刻技术,即将图案直接刻在铸模上。所以当铸模好了之后,图案就已经在玻璃的表面上了。这项技术降低了制作成本,且结合彩色玻璃的广泛运用导致了1930年代便宜花瓶的出现,这些花瓶后来被称之为“Depression glass”。因为用在此过程中的酸剂很危险,现在大多是使用研磨的方法。

到了近代,现在的蚀刻应用在半导体的制程上,透过黄光制程来定义出想要的图形,利用蚀刻来得到。

半导体的蚀刻可分为干式蚀刻与湿式蚀刻:

  • 干式蚀刻:透过等离子的解离,形成离子与物质表面进行化学反应或是物理轰击,属于非等向性的蚀刻。
  • 湿式蚀刻:利用化学的液体与物质进行化学反应。属于等向性的蚀刻。

参考文献

蚀刻商品

另见

  • 玻璃

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