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前开式晶圆传送盒

2018-08-20 16:33:40     所属分类:半导体器件制造

前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)。这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器,其内部可以容纳25片的300mm晶圆,而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭,是一种专属于12吋(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。它最重要的功用是确保每25片的晶圆在它的保护下避免在每一台生产机台之间的传送被外部环境中的微尘污染,进而影响到良率。是先进的12吋晶圆厂重要的生产工具。

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